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工作原理
在真空狀態下，壓力越來越小，分子間間距越來越大，分子間力越來越小，利用射頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的離子，然後與有機汙染物及微顆粒汙染物反應或碰撞形成揮發性物質，然後由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去，從而達到表麵清潔、活化等目的。
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應用領域
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1年質保，終身維護，提供配套服務
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