真空蜜桃视频网站观看免费网页設備(CCP式)電極饋入的方式有哪些?
文章導讀:CCP 容性耦合等離子體 (capacitively coupled plasma)是目前國內常見的真空蜜桃视频网站观看免费网页設備電極放電形式,有些愛學習的小夥伴想了解一下電極饋入方式,水蜜桃免费视频的技術人員給大家簡單介紹如下,僅供參考:
真空蜜桃视频网站观看免费网页設備CCP容性耦合等離子體放電使用的電極饋入方式常見的有兩類:
1、第1類是通過定製的銅棒+聚四氟乙烯絕緣件配合饋入到腔體內,在腔體內銅棒與連接排連接在一起。真空蜜桃视频网站观看免费网页設備電極板上也安裝相應的連接件。連接方式可以是插針公母頭連接、銅片+彈片配合連接以及連接排與電極板通過銅帶利用螺絲鎖定連接。下圖為常用的插針公母頭連接的示意,其他連接隻是在腔體內部有區別。
2、另外一類是在真空蜜桃视频网站观看免费网页設備電極板上焊接連接棒,通過定製的絕緣套與焊接的連接棒配合,連接至腔體外;在腔體外再用導電排連接在一起,然後與等離子發生器的輸出連接在一起。這一類主要是用於水冷電極結構連接,如是水冷電極結構那麽焊接的連接棒為中空結構,這樣就可以中通水、連接棒外接射頻。具體結構需根客戶要求而定。下圖為連接示意(僅為示意圖,實際結構會有所區別)。
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