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         1、真空腔室:簡稱真空腔,反應腔,反應箱體,材質是鋁或者不鏽鋼;內部有不同結構的電極板,需要處理的產品或材料就放在裏麵。
         2、真空室監視窗:也叫觀察窗,形狀各異,一般是特種玻璃或者石英,透過它可以觀察等離子體放電狀態。
         3、工作氣體進氣管:需要通入的工藝氣體由此導入,從門上進氣。
         4、機櫃前門:機櫃裏麵一般都會有等離子發生器,真空泵,流量計、真空計和電控部分;機櫃材質包括鐵質、不鏽鋼和塑鋼等;鐵質機櫃的表麵處理一般是噴塑或者噴粉。
         5、設備電源開關:低壓真空蜜桃视频网站观看免费网页機的總電源開關。
         6、緊急停止開關:遇到任何緊急情況需要終止設備運行的開關。
         7、人機界麵:PLC觸摸屏或者工控觸摸屏
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